１ MEMS協議会・交流会の開催
10月29日（水）17：15から霞ヶ関商工会館において、MEMS協議会の諸活動の理解を深め、MEMS協議会メンバーの相互交流が出来る場として、平成20年度第2回「MEMS協議会メンバー交流会」が行われました。
このメンバー交流会には、来賓として、経済産業省製造産業局産業機械課、NEDO技術開発機構の方々をお
迎えし、MEMS協議会正メンバー企業、アソシエートメンバー企業、MEMS協議会フェロー、MEMS協議会アドバイザーの方々約60名のご参加がありました。
開催にあたってMEMS協議会の今仲副会長から、MEMS協議会のメンバー数が、MEMS協議会が発足したときの総数143メンバーから現在では総数が192メンバーになっていることが報告され、また、最近のMEMS協議会活動のトピックスとして、次の内容が紹介されました。
・MEMS協議会の研究会活動（産学連携）を通じて、BEANSプロジェクトがスタートしたこと。
・MEMS分野の国際標準化活動で、MEMS分野がIEC（国際電
気標準化会議）のSC（分科委員会）昇格し、日本が幹事国
になったこと。
・今年の総合イベント「マイクロナノ２００８」が盛況のうちに閉幕。特に第19回マイクロマシン・MEMS展では
来場者14,000名を越え、世界屈指の総合展示会に成長したこと。
・MEMS協議会メンバー等の活動紹介や新製品・新技術を紹介
するMEMSモールをWeb上に開設したこと。
続いて、NEDO技術開発機構の上原明理事から来賓のご挨拶を、MEMS協議会アドバーザーの立命館大学杉山進教授から乾杯の音頭をいただき、交流・懇談を行いました。
また、途中から経済産業省製造産業局産業機械課の米村猛課長が駆けつけられ、協議会メンバーの方々と懇談されました。
２ 第16回マイクロナノ先端技術交流会の開催
第16回マイクロナノ先端技術交流会が、11月７日(金)に、東京大学生産技術研究所 年吉洋准教授、東北大学大学院医工学研究科芳賀洋一教授を講師にお迎えし、MMCテクノサロンで開催されました。参加者はMEMS協議会メンバー、一般参加を含め24名で、先端技術情報の紹介と活発な質疑が行われました。講演内容は次のとおりです。
①東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター 准教授 年吉 洋 先生
講演題目：「光ＭＥＭＳ技術の通信・ディスプレィ・医療応用」
講演概要：ＭＥＭＳ光スキャナの光ファイバ内視鏡応用や、レーザー画像ディスプレィ応用、また、ロール・ツー・ロール印刷技術による電子サイネージへの取り組みについて紹介されました。
東京大学生産技術研究所 年吉洋 准教授 |
講演風景 |
②東北大学大学院 医工学研究科 教授 芳賀洋一 先生
講演題目：「マイクロシステムを用いた低侵襲医療機器開発」
講演概要：内視鏡やカテーテルなどを用い患者に負担をかけない検査・治療を目指して、ＭＥＭＳをはじめとした微細加工技術を活用し、サンプルを交えながら、小さくとも高機能な新しい低侵襲医療機器の開発について、紹介されました。
東北大学大学院 芳賀洋一 教授 |
講演風景 |
技術相談・交流風景 |
また、講演終了後、講師の年吉洋准教授、芳賀洋一教授を囲んだ技術相談・交流会がマイクロマシンセンター会議室で行われ、和やかなうちに閉会いたしました。
次回の第17回マイクロナノ先端技術交流会は、来年2月上旬に開催する予定です。
３ 海外動向調査：MEMS Executive Congress参加＆シリコンバレイベンチャー調査
MMC／MEMS協議会では、国際交流活動の一環として海外ミッションを実施していますが、今回11月初旬に米国カリフォルニア州モントレーで開催されたMEMS Executive Congressに参加、併せて北米、特にシリコンバレイのMEMS、ナノテク関連企業・大学を訪問し動向調査を実施しました。
概要は以下の通りです。
◆期 間：2008年11月2日(日)～9日（日）
◆目 的：MEMS Executive Congressに参加し、MEMSの最新動向を経営的見地から把握するとともに、世界のMEMS業界の経営層とのネットワークを構築する。また、会議の前後を利用し、シリコンバレーのMicro/Nano関連の企業・大学等を訪問、技術動向調査、ビジネス関係構築に活用する。
◆日 程：
11/2（日） 日本発 サンフランシスコ着
11/3（月）～5（水）午後 関連機関訪問
11/5（水）夜～11/7（金）午前 MIG MEMS EXECUTIVE CONGRESS参加
11/7（金） 関連機関訪問
11/8（土） サンフランシスコ発
11/9（日） 日本着
◆参加者：
オムロン（株）：佐野様、高橋様（OMRON Silicon Valley）
パナソニック電工（株）：岡本様
リンテック（株）：中田様
MMC：安達
◆MEMS Executive Congress
MEMS Executive CongressはMEMS協議会の海外アフィリエートであるMEMS Industry Group（MIG:米国ペンシルバニア州ピッツバーグ）が開催する年次会議で、世界中からMEMS関連企業の経営層が集まります。
今年はカリフォルニア州モントレーのMonterey Plaza Hotel & Spaで開催され、133名が参加。日本からはMIG会員企業であるオムロン（株）関口様、パネリストの東北大学江刺教授、今回のミッションへの参加企業であるパナソニック電工（株）岡本様とMMC安達の4名が参加しました。内容は以下の基調講演と、パネル形式によるディスカッションで進められました。このCongressの一番の特長は長めにとった休憩時間、ランチタイム等を利用した参加者相互の情報交換と、人脈作りにあると感じました。
【基調講演】
■Sun Small Programmable Object Technology( Sun SPOTs )
Roger Meike Sun Microsystems研究所
■Towards New Paradigms of Sensing, Computing and Communication
Tapani Ryhanen Nokia Research Center
【パネル】
■パネル１：コンスーマーエレクトロニクス、モバイル通信におけるMEMS
■パネル２：MEMSの役割：低消費電力、電力モニタリング、及び保全
■パネル３：流動資産の投資先として注目されるMEMS：VCの視点
■パネル４：MEMSにおける先端技術の展望
■パネル５：MEMS市場分析
来年のCongressは11月4～6日カリフォルニア州ソノマで開催されます。
◆企業・大学訪問
訪問先とその概要を以下に示します。
■Cavendish Kinetics CMOSコンパチMEMS開発ベンチャー
■KOVIO ナノインク、プリンテッドエレクトロニクス
ベンチャー
■Nanochip カンチレバー型Memory開発ベンチャー
■NanoGram Nano粒子・インク、太陽電池開発ベンチャー
■Qualcomm MEMS MEMS Display開発企業
■Silicon Clocks Si Resonator、MEMS/CMOS集積ベンチャー
■Silicon Microstructures, Inc. ドイツELMOS社のMEMS開発部門（圧力センサ）
■SiTime Si Resonator開発ベンチャー
■SVTC Technologies 8インチCMOS/MEMSプロセス開発ファンドリー
■UCバークレイ BSAC MEMS研究センター
訪問先の状況ですが、金融危機に端を発する経済状況の悪化で、シリコンバレイといえどもベンチャーキャピタルからの資金調達が難しくなっており、訪問先の中には費用負担の大きい製品生産・販売からライセンシング供与にビジネスモデルを転換する企業、資金繰りの悪化で一部の従業員をレイオフした企業等もありました。その一方で、SiTime社はMEMS Resonatorを今年250万個出荷するなど元気な企業もあります。
5日間で国際会議と10カ所関連機関訪問という過密スケジュールでしたが、MEMS関連企業・大学が集中するシリコンバレイであり各訪問先が隣接していること、それに天候にも恵まれ成功裏に終えることができました。参加いただいた皆様に感謝いたします。
MEMS協議会では今後も海外ミッションを実施いたしますので、地域・訪問機関等ご要望がございましたら、お知らせください。
MEMS Executive Congress
（モントレー水族館でのディナー） |
訪問先SiTime社とミッション参加者
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４ IEC/TC 47東京会議報告
IEC（国際電気標準会議）/TC 47（専門委員会 47；半導体デバイス）の会議は毎年1回各国持ち回りで開催されていますが、今回は2008年10月27日から31日まで東京の三田共用会議所で開催されました。TC47全体 参加者は日本（70名）、韓国（14名）、中国(2名)、米国(5名)、ドイツ(4名)、英国(3名)、フランス (1名)の7カ国（合計99名）でした。その内、MEMSの標準化はこれまでTC47/WG4（ワーキンググループ 4）で審議されていましたが、本年6月にTC47/WG4が分科委員会（SC）に昇格し、SC47Fとなりました。今回初めてSC47F全体会議が行なわれまた。実際の文書審議はSC47Fの中に設置されたワーキンググループWG1で審議されました。SC47F
全体会議とSC47F/WG1会議の概要は以下の通りです。
開催日時：SC47F全体会議（第1回） 10月28日 9:30-12:00
SC47F/WG1会議 10月29日 13:30-17:00
SC47F全体会議（第2回） 10月30日 13:30-17:00
出席者：議長 Prof. Sekwang Park (KR)
国際幹事 竹内 南(JP)
IEC中央事務局 Ms. Suzanne Yap
WG1主査 大和田 邦樹(JP)、Prof. Sekwang Park (KR)
国別出席者数： 日本（16）、韓国（7）、中国（2）、米国（2）、
ドイツ（1）
議事概要
・国際幹事よりSC47F設立の背景の説明、発行文書及び新規に提案されている文書の紹介がありました。
・文書審議結果
①IEC 62047-4；MEMS通則は、2008年8月21日に国際規格として発行されました。
②IEC 62047-5；RF MEMSスイッチは、各国のコメントに対して、Park教授が回答案を説明しました。
審議の後、3rd CD（委員会 原案第3版）を作成することになりました。
③IEC 62047-6；薄膜材料の疲労試験法は、高島教授（熊本大）がFDIS（最終国際規格案）案の説明を 行い、FDISとして回付されることになりました。
④IEC 62047-7；MEMS FBARフィルタは、CDへの各国こめんとについて議論が行われ、コメントに対する回答を付したコメント集の回付の後、2nd
CDを作成することになりました。
⑤IEC 62047-8；引張特性測定のための曲げ試験法は、各国コメントへの対応 についてDr. Leeより説明があり、各国からのコメントに基づいて、2nd
CDを作成することになりました。
⑥IEC 62047-9；ウエハ・ツー・ウエハ接合試験法は、各国コメントへの対応 についてPrak教授から説明があり、コメントへの回答を付したコメント集の改訂版を作成することになりました。
⑦IEC 62047-10；マイクロピラー圧縮試験方は、韓国から新規に提案され、現在NP（新規業務項目提案）として回付中です。Dr. Leeより説明がなされ、高島教授（熊本大）より、規格の目的、適用範囲ならびに内容に関し、国内委員会の審議に基づいてコメントしました。
⑧IEC 62047-11；熱膨張係数試験法は、韓国から新規に提案され、現在NPとして回付中です。Prof. Ohより説明がなされ、今月末の投票締め切りまでにコメントを求める発言があった。土屋准教授（京都大）より規格の目的、適用範囲ならびに内容に関し、国内委員会の審議に基づいてコメントしました。
・次回開催予定
SC47F/WG1及び日韓中MEMS標準化ワークショップ 2009年6月 済州島（韓国）
SC47F及びWG1 2009年10月 テルアビブ（イスラエル）
５ 工業標準化事業表彰をMEMS関連で3名の方が受賞
経済産業省では、毎年、工業標準化に率先して取り組み、国際規格や日本工業規格の作成、普及促進等に顕著な功績があった個人、事業所を表彰しています。本年度は、MEMS関連で以下の3名の方々が以下の各賞を受賞されました。
帝京大学 大和田 邦樹教授 |
熊本大学 高島和希教授 |
京都大学 土屋智由准教授 |
・工業標準化事業表彰（経済産業大臣表彰）
大和田邦樹氏（帝京大学教授）
・国際標準化貢献者表彰（産業技術環境局長表彰）
高島和希氏（熊本大学教授）
・国際標準化奨励者表彰（産業技術環境局長表彰）
土屋智由（京都大学准教授）
大和田先生は、MEMSの標準化を審議していますIEC/TC47/WG4の主査を2002年より勤め、MEMS国際標準化の活性化に指導力を発揮し、本年のWG4の分科委員会（SC47F）への昇格及び日本への幹事国割当に多大な貢献がありました。また、IEC/SC47E（個別半導体）においては、永年マイクロ波デバイスの国際標準化に携わり、現在、国際議長として多岐にわたりSC活動の指揮運営に尽力されています。これらが評価され今回の受賞となりました。
高島先生は、MEMSの材料試験法の標準化に、規格原案開発プロジェクトの段階から参画し、試験法の確立、原案作成、IECへの提案に貢献し、MEMS分野のエキスパートとしてIEC審議でも中心的役割を果たす等、MEMSの国際標準化活動の強化への貢献が評価され今回の受賞となりました。
土屋先生も、MEMSの材料試験法の標準化に、規格原案開発プロジェクトの段階から参画し、試験法の確立、原案作成、IECへの提案に貢献し、MEMS標準化のIEC審議にも参加する等、MEMSの国際標準化貢献しています。また現在、新規規格の提案を中心となって準備中であり、今後とも貢献が一層期待されるということで今回の受賞となりました。
授賞式は、10月20日虎ノ門パストラルホテルにて行われました。
６ フランス国立研究機構CEA-LETIとMEMS産業化推進の国際連携協定に調印
10月22日（水）、フランス国立研究機構CEA-LETIとマイクロマシン
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覚書にサインするCEA－LETI CEO, Dr. Malierと
MMC 青柳専務理事 |
センター／MEMS協議会は、両国、並びに国際的なMEMS産業の発展のためMEMS産業化推進の国際連携協定締結に合意し、その調印式を執り行いました。
MEMS協議会では海外アフィリエートとの国際ネットワークを構築し、展示会・フェアでの相互出展、国際会議における技術／産業開発動向に関する情報交換等の活動を通じ、産業化を推進しており、現在17の機関・研究所と連携しています。CEA-LETIとは、マイクロマシン／MEMS展、及びLETI-Dayにおける交流や、LETIの日本における活動のサポート、MEMS協議会会員のLETIとのコンタクト窓口としての活動等を予定ですが、具体的な活動内容については今後協議していきます。
尚、MEMS協議会海外アフィリエートについてはMMCホームページhttp://www.mmc.or.jp/mif/をご覧ください。
７ 第25回センサマイクロマシンと応用シンポジウムへの出展報告
電気学会センサ・マイクロマシン部門主催の第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが10/22(水)～24(金)に沖縄コンベンションセンターにて開催されました。今回は3件の招待講演、109件の口頭発表、55件のポスター発表、12件の速報発表の他に日本機械学会マイクロナノ工学専門会議との合同セッションで3件のキーノート講演と47件のポスター発表、国際セッションでの8件の招待講演など、合計で237件のセンサ・マイクロマシン分野の研究発表が行われ、420人の参加者がありました。また、現在MMCで精力的に研究開発を実施しているBEANS(Bio
Electromechanical Autonomous Nano Systems)のセッションも２セッション設けられ、活発な質疑応答がなされました。さらに、併設された技術展示会にはＭＭＣのBEANS研究所およびMemsONEサポートセンターが出展し、BEANSプロジェクトならびにMemsONEソフトの普及、啓蒙を図りました。技術展示会はポスターセッションの会場内で実施されたため、特にポスターセッションのときには多くの来場者がブースを訪れました。
コンベンション会場
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会場入り口看板 |
技術展示会BEANS研究所のブース前にて |
MemsONE/ファインMEMSブース |
８ BEANSプロジェクトの最新動向について
去る10月20日（月）に第二回BEANSプロジェクト推進委員会が開催されました。
本委員会は、プロジェクト研究開発項目の進捗状況報告や研究開発項目間の調整を行ったり、また各種委員会活動を報告するなどプロジェクトマネジメントの場です。第一回目はプロジェクトの運営方針や研究テーマの確認とスケジュール調整が主な議題でしたが、今回はプロジェクトが開始され4か月が経過しましたので、各研究センターから研究課題毎に4半期報告をして頂きました。現時点では、プロジェクト全体の研究活動や経費執行は実施計画にそって順調に進展していることが確認されました。本年度の各研究センターの研究活動は研究環境の整備や大型の研究設備と機器の導入設置がほとんどを占めます。そのためにBEANSプロジェクト専用クリールームの設置やここで使用する製造プロセス装置、評価・計測機器の購入に注力をして、ほぼ計画通り進展しました。また研究テーマの方は既存の研究機器を用いて予備実験を始めています。この結果、早くもBEANSとして特徴ある研究成果が生まれて来ています。総じて、各センターとも良い研究スタートが切れたのではないかと思っております。以下に研究センターごとにその研究トピックスをご紹介します。
（Life BEANSセンター）
・ 生化学実験システムや大型研究設備の導入がほぼ終了、製膜装置、エッチング装置を収容できるBEANS専用クリーンルームを来年2月の完成にむけて建設の準備中。
・ 10月沖縄センサー・シンポジウムのBEANSセッションにてLife BEANSテーマを紹介。
・ 脂質二重膜の安定化、蛍光ゲルビーズ、ハイドロゲルの機能化プロセスの予備実験に着手。
（Life BEANS九州センター）
・ BEANS専用実験室に有機合成、SEM,ナノミスト製膜などBEANS関連設備の導入を完了。
・ 有機材料を用いたナノ形成プロセスとしてナノドットの形成に初めて成功。
(3D BEANSセンター)
・BEANS専用クリーンルームに設置予定の超低損傷エッチング装置の仕様検討が終了、超臨界製膜装置など研究設備の実験立ち上げが進行中。
・トライポロジー、ナノ粒子配列、化合物ナノドット製膜などナノ構造に関する基礎実験に着手。
（3D BEANS滋賀センター）
・ナノ構造加工装置の仕様検討、発注が完了、宇宙用ナノ構造作成フィルターのナノ構造設計とその特性予測シミュレーションを試行。
（Macro BEANSセンター）
・BEANS専用クリーンルームの設置工事ならび大型研究機器類の導入が進行中。
・スプレー法による大面積自己組織膜、連続高品位機能膜被覆プロセス、中空繊維状基材内への微細構造作成プロセスなどの基礎検討に着手。
９ 第5回豊橋技術科学大学産官学交流フォーラム2008への参加
第5回豊橋技術科学大学産官学交流フォーラム2008が2008年11月7日（金）に豊橋科学技術大学ベンチャービジネスラボラトリー(VBL)にて開催され、マイクロマシンセンターBEANS研究所の武田副所長が招待を受け参加しました。本フォーラムでは豊橋技術科学大学･VBLが推進している15件の独創的な研究の中から「機能集積化知能デバイスの調査研究―異分野融合が進むセンサ/MEMS分野―」をテーマとして、豊橋技術科学大学教員による6件の研究開発紹介と１件の特別講演ならびに2件の招待講演が行われました。この招待講演の内の1件として、武田副所長が「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト(BEANSプロジェクト)について」と題して、BEANSプロジェクトの概要に関して紹介を行いました。78名の参加者があり、昼食懇談会/ポスター発表会を含めて，活発な意見交換が行われました。
http://www.tut.ac.jp/cgi-bin/aup200p/display.cgi?id=625
会場入り口看板 |
講演発表風景 |
１ マイクロナノ2009の開催案内（2009年7月29日～31日）
来年の｢マイクロナノ２００９｣は、平成２１年7月29日（水）～７月31日（金）の３日間、東京ビッグサイトで開催することで準備を進めています。
来年は、MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会である「マイクロマシン／MEMS展」が第20回目を迎える節目にあたり、マイクロナノ／MEMS分野の最新技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ２００９」として、展示会ではマイクロナノ／MEMS分野の産業展開をよりビジュアルに表した特別展示や、展示会場内に設けた特設会場においては、マイクロナノ／MEMS分野の国内外先端技術動向や海外の産業化動向の他、「マイクロマシン／MEMS展」の20周年を記念した特別プログラムなど、多彩なプログラムを計画しています。
マイクロナノ／MEMS分野の技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ２００９」をご期待下さい。
なお、「第20回マイクロマシン／MEMS展」の出展募集は、オーガナイザーであるメサゴ・メッセフランクフルト㈱から、近々行われます。（10月下旬ごろ）
○展示会
『第20回マイクロマシン／MEMS展』
（MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会）
会期：7月29日（水）～7月31日（金）の3日間
会場：東京ビッグサイト 東５＆６ホール
○シンポジウム・カンファレンス（予定）：
会場はいずれも『第20回マイクロマシン／MEMS展』展示会場内特設会場を予定。
①第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
②BEANSプロジェクト中間成果発表会
③MEMSフォーラム（MEMS協議会からの情報発信）
④日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
⑤MEMS the World Workshop （MEMS協議会海外アフィリエート・ワークショップ）
２ 第4回MemsONE実習講座の開催（12月5日）
大阪では最終回となるMemsONE実習講座の第４回が１２月５日（金）に開催されます。この実習講座はMemsONEがインストールされたパソコン環境を提供して実際の操作実習を行うものです。コースは４コースあり、今回は機構解析コースで、力学、圧電、電界、熱伝導などの解析手順を中心に指導します。受講者にはテキストと講座で使用したサンプルデータが提供されますので、持ち帰って復習することができます。
本講座の受講対象者に制約は御座いませんので、MemsONE導入者だけでなく、導入を検討中の方も是非参加下さい。
詳細は下記ＵＲＬでご確認下さい。
ＵＲＬ ../../mems-one/hiroba/seminar_info/
３ 第1回MemsONEユーザ会の開催（12月17日）
MemsONE Ver1.0を本年２月にリリースし、１０ヶ月が経過致しました。この間、Ver1.1のリリース、実習講座、各種イベント出展などの普及活動を推進して来ました。この活動により、序所にユーザが増えつつあることを踏まえ、ユーザ間およびサポートセンターとの情報交換・交流の場として「MemsONEユーザ会」を開催することに致しました。先ずは、東京にて第１回を下記要領で開催致します。無料ですので、是非ご参加下さい。多くの方のご参加をお待ちしています。
◆開催日時 ： 平成２０年１２月１７日（水）１４：００～１７：００～１８：３０
◆開催場所 ： ＭＭＣテクノサロン
◆参加対象 ： MemsONE導入ユーザおよびコンソーシアムメンバーの推薦者
◆参加費用 ： 無料
◆開催内容 ： ①MemsONE活用事例など５件（大学：３件、企業：２件）
②Ver2.0の機能・商品体系紹介とデモ
③MemsONE活用上のＱ＆Ａ
④技術相談・交流会
尚、参加は事前登録制です。下記のＵＲＬから詳細をご確認の上、登録をお願いします。
→ ../../mems-one/hiroba/seminar_info/
４ 第12回MEMS講習会の開催（2009年2月6日）
第１２回MEMS講習会を来年２月、初めて東海地方で開催いたします。
開催概要は、下記のようになっていますが、参加方法等詳細は、追ってご連絡いたし
ます。
今回は、同日開催される財団法人浜松地域テクノポリス推進機構主催の「はままつメ
ッセ２００９」と同時開催という形で開催いたします。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
＜開催概要＞
・日時： ２００９年２月６日（金） １３：００～１８：００（～１９：００）
・場所： 静岡県浜松市
・会場： グランドホテル浜松 ２階 桃山の間
・共催： 財団法人浜松地域テクノポリス推進機構（予定）
静岡大学イノベーション共同研究センター
＜プログラム（案）＞
13:00主催者／共催者挨拶
13:10－13:50 MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待
・杉山 進 （立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長 教授 ）
13:50－14:30 MEMSプラットフォーム関連
・橋口 原 （静岡大学 電子工学研究所 教授）
14:30－14:40 ――― 休憩 ―――
14:40－15:40 委員企業よりMEMSプロセスについての講演
15:55－16:35 東海地区のMEMS企業技術紹介
16:35－17:20 委員企業よりMEMSデバイス・シミュレーションについての講演
17:20－17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
17:30－18:00 ――― 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 ―――
18:00－19:00 懇談会
５ UC バークレイBSACがMEMS/NEMS Symposiumを開催
（MEMS協議会会員は参加費が半額に！）
MEMS協議会の海外アフィリエートで世界的なMEMS研究拠点であるUCバークレイのBSAC（Berkeley Sensor & Actuator Center）が下記のように東京、天王洲アイルにてシンポジウムを開催します。
「BSAC 2008 シンポジウム」
◆開催日時： 2008年12月10日（水）9：00～16：30
◆開催場所： 品川区東品川2-2-24 天王洲セントラルタワー27階
「ホール２７」
◆参加費： MEMS協議会会員 \10,000
一般 \20,000
BSAC会員 無 料（直接BSACに申込ください）
◆プログラム：
Time Speaker, Event / Topic Information
09:30 Registration
Free-running Presentation on Resonators for RF MEMS (in
Japanese)
10:00 Miwako Waga, GETI
BSAC Introduction (in Japanese)
10:10 John Huggins
BSAC and Visiting Industrial Fellow Program
10:30 Prof Liwei Lin
MEMS Microenergy Generation & Storage
11:15 Prof. David A. Horsley
Single XTAL PMT-PT: A New Piezoelectric Material for MEMS
11:30 Prof. David A. Horsley
MEMS Color Display Technology Based on Nanoimprint Lithography
12:00 Lunch
13:00 Prof. Albert P. Pisano
MEMS Wireless Sensors for Energy & Power
14:00 Prof Ming C. Wu
Topics in Optoelectronic Tweezers and Adaptive Optics
14:30 Prof. Ming C. Wu
MEMS and the "CITRIS" Research Vision.
15:00 Break
15:30 Junji Adachi, Exec VP Micromachine Center
From MEMS to BEANS: Industry-Academia-Government, Tri Helix
Development Efforts
(in Japanese)
16:15 Eri Takahashi
PowerMEMS in the US: a Survey (in Japanese)
16:30 Dr. Hirotaka Sato
(Introduction by Prof. Michel Maharbiz)
BioRobotics: Insect Flight Control by a Neural Stimulator
(in Japanese)
17:15 John Huggins
Informal Discussion
17:30 Adjourn
17:55 End
ご参加をご希望されます場合はMEMS協議会会員窓口担当の方に案内・申込要領メールを発送していますので、必要事項ご記入の上、MEMS協議会までE-mail:
[email protected] / FAX: 03-5835-1873宛、申込ください。
なお、詳細は下記アドレスにアクセスください。
http://www-bsac.eecs.berkeley.edu/events/japan_12_2008/?symposium_meeting
６ 第1回電気等価回路から考えるMEMS設計手法研究会の開催案内
(社)日本機械学会 マイクロナノ工学専門会議
- 第１回電気等価回路から考えるMEMS設計手法研究会 -
電気機械変換素子の代表的な微小素子として圧電効果を利用したものが広く使われています。水晶振動子やSAWフィルターなどです。これらの原理を説明する教科書を見ると、必ず電気等価回路を導出してその説明がなされています。さらにその等価回路から見えてくる特性を利用して、新しい構造や組み合わせ、周辺回路などの設計へと発展していきます。つまり電気機械変換素子を使いこなすには、等価回路を利用することが一つの重要な手がかりとなるということです。本研究会は、電気機械変換素子を基本素子とするMEMSにおいても、このような考え方で設計する手法を確立するために立ち上げました。等価回路で電気機械変換素子を表現する利点は、
①異なる物理系の間でのエネルギー変換の大きさやパラメータ依存性が分る。
②電気機械変換素子の入出インピーダンスの大きさやパラーメータ依存性が分る。
③MEMS素子の特性をネットリストで表現できる。
④MEMSの機構設計者と回路設計者の間の共通言語となる。
などが上げられます。
研究会ではNEDOプロジェクト「高集積複合MEMS製造技術開発（ファインMEMSプロジェクト）」で開発中のMEMS等価回路ジェネレータを中心に、MEMSと等価回路に関する講演やチュートリアルを行って、MEMSの等価回路による設計が有効な手段なのかどうか検討していきたいと考えています。多くの方の研究会へのご参加をお待ちしております。
主査：静岡大学 電子工学研究所 教授 橋口 原
幹事：京都大学 大学院工学研究科 准教授 土屋 智由
＜プログラム＞
１．ご挨拶 －研究会への思い－
２．VLSI回路設計手法とMEMSモデリング
東京大学 大学院工学研究科 電気系工学専攻 准教授 竹内健
３．等価回路を利用したMEMSセンサの動作解析と流体集積回路への応用
豊橋技術科学大学工学部 電気・電子工学系 准教授 高尾英邦
４．電気等価回路から考えるMEMS設計手法について
静岡大学 電子工学研究所教授 橋口 原
５．ディスカッション
開催日時： ２００８年１２月１日（月）１４：００～１７：３０
開催場所： 東京大学 工学部8号館83号講義室 東京都文京区本郷７－３－１
地 図 ： http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_09_j.html
参加費 ： 無料 参加ご希望の方は下記項目を記載したメールを
事務局（[email protected]）へ送付下さい。
（１）氏名、（２）勤務先・所属、（３）住所・電話番号・FAX・E-mail
連絡先（事務局）：京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 土屋智由
〒606-8501 京都市左京区吉田本町
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１．経済政策動向
■月例経済報告（１０月２０日）
１０月の月例経済報告では景気の基調判断について、「景気は、弱まっている。
・輸出は、緩やかに減少している。生産は、減少している。
・企業収益は、減少している。設備投資は、弱含んでいる。
・雇用情勢は、悪化しつつある。
・個人消費は、おおむね横ばいとなっているが、足下で弱い動きも
みられる。
先行きについては、当面、世界経済が減速するなかで、下向きの動きが続くとみられる。加えて、アメリカ・欧州における金融危機の深刻化や景気の一層の下振れ懸念、株式・為替市場の大幅な変動などから、景気の状況がさらに厳しいものとなるリスクが存在することに留意する必要がある。」としています。
○ 月例経済報告関係資料
http://www5.cao.go.jp/keizai3/2008/1020getsurei/main.pdf
■経済産業省の主な経済指標（２００８年９月確報 2008年１１月１３日）
経済産業省は、商鉱工業及びサービス業など幅広い分野にわたって統計調査を実施しており、それらの調査・分析結果について取りまとめた統計をホームページ上に公表しています。
生産・出荷・在庫・在庫率指数概況でみますと、 9月の生産指数は、前月比1.1%の上昇となり、指数水準は105.6(季節調整済)となっています。生産の上昇に寄与した業種は、輸送機械工業、一般機械工業、電子部品・デバイス工業等でした。
また、出荷指数の確報値は、前月比0.4%の上昇となり、指数水準は105.3(季節調整済)となっています。出荷の上昇に寄与した業種は、一般機械工業、電子部品・デバイス工業、輸送機械工業等でした。また、在庫指数の確報値は、前月比2.0%の上昇で、指数水準は107.6(季節調整済)となっています。在庫の上昇に寄与した業種は、輸送機械工業、電子部品・デバイス工業、電気機械工業等でした。
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-1.html
鉱工業指数
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-2.html
２．産業技術政策動向
■総合科学会議の動向
総合科学技術会議は、第７７回会議を１０月３１日（金）に開催しました。今回の議題は、平成２１年
度概算要求における科学技術関係施策の重点化の推進について、｢特定胚の取扱いに関する指針の改正について｣、 ｢ヒトＥＳ細胞の樹立及び使用に関する指針の改正について」及び｢国の研究開発評価に関する大綱的指針｣の改定についてなどでした。
議事要旨と配付資料は以下の通りです。
議事要旨・配付資料
http://www8.cao.go.jp/cstp/gaiyo/honkaigi/77index.html
http://www8.cao.go.jp/cstp/siryo/haihu77/haihu-si77.html
■平成２０年度産業技術関連予算の概要（３月２８日成立）
経済産業省の産業技術予算のうち、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発」については、一般会計で１２億円（要求は１６億円）が認められています。
http://www.meti.go.jp/press/20071224001/05_sangi.pdf
■イノベーションを取り巻く関連政策動向
１．地球温暖化対策のための排出量取引の試行決定
地球温暖化対策推進本部（本部長は内閣総理大臣）は、10月21日、排出量取引の国内統合市場の試行的実施について決定した。
試行は、以下の２つの仕組みにより構成されている。
まず①企業等が削減目標を設定し、次に②設定した目標達成のために、他の参加者の目標の超過達成分、国内クレジット、京都クレジットを活用する。
国内クレジット制度とは、大企業が中小企業等に技術・資金等を提供した取り組みにより2酸化炭素が削減された場合に、排出量削減を認証する制度である。また、京都クレジットについては、既にその取引等に関するルールが定められている。
今後のスケジュールとしては、①試行の開始に伴う課題等については、2009年１～3月にかけて中間レビューを行い、②試行実施に関する全般的評価については、2009年度秋頃にフォローアップを行うとしている。
また、試行実施に当たっては、実際に削減努力や技術開発に繋がる実効性のあるルール、マネーゲームが排除される健全な実需に基づいたマーケットの構築を目指すとしている。
参考：http://www.kantei.go.jp/jp/singi/ondanka/2008/1021.pdf
２．原材料価格高騰の対策として緊急保証制度が始まる
政府は、原油・原材料価格の高騰や仕入れ価格の高騰を転嫁できていない中小企業の資金繰りを支援するため、新しい保証制度「原材料価格高騰対策等緊急保証」を10月31日に開始することを決定した。
この緊急対策は、中小企業対策として4千億円を含む補正予算が成立したことを受けて、6兆円規模の緊急保証制度を創設したものである。
内容は、中小企業が金融機関から融資を受ける際に一般保証とは別枠で、無担保保証で8千万円、普通保証で2億円までの信用保証協会の100％保証を受けることを可能とするものである。
この制度を受けられる業種としては、原材料価格の高騰の影響を強く受ける食品製造業、化学工業、プラスチック製品製造業など、及び仕入れ価格高騰の影響を受ける飲食店、卸売業、小売業などを含め、545業種の中小企業を対象としている。
この制度は、全国の中小・小規模企業者の3分の2をカバーすることになり、大きな効果が期待されている。
参考：http://www.chusho.meti.go.jp/kinyu/download/081023kaigou_07.pdf
３．総務省「ＩＣＴビジョン懇談会」を開催
総務省は、「完全デジタル時代」を迎える2011年以降を展望し、「ユビキタスネット社会」をさらに発展させていくための総合的なＩＣＴ政策のビジョンを検討することを目的として、総務大臣の主催する「ＩＣＴビジョン懇談会」を開催する。
総務省では2004年12月「ｕ―ＪＡPAN」政策を策定・発表し、2010年を目指して「いつでも、どこでも、何でも、誰とでも」ネットワークに繋がる「ユビキタスネット社会」を目指して各種施策を実施している。
本懇談会は、「完全デジタル時代」を迎える2011年以降の2015年頃までを展望し、「ユビキタスネット社会」をさらに発展させていくための総合的なＩＣＴ政策のビジョンについて、幅広い見地から検討することを目的としている。
検討内容としては、①2015年頃までを視野に入れたＩＣＴ関連市場の中期的な展望②我が国として取り組むべき課題の抽出③以上を踏まえ、2015年頃を展望した総合的なＩＣＴ政策の方向性を予定している。
本会の開催期間は、平成20年から平成21年6月までの予定である。
参考：http://www.soumu.go.jp/s-news/2008/081021_2.html
４．素形材技術戦略の策定
経済産業省は、日本のものづくり基盤を支える素形材技術（鋳造技術、鍛造技術、金属プレス技術、粉末冶金技術、金型技術、熱処理技術）に関する「素形材技術戦略」を10月30日に公表した。
この戦略は、素形材に係る技術の戦略的活用、事業化等により世界市場における確固たる優位性を確保して、世界の製造業の生命線を握る我が国素形材産業の確立と重要技術を掌握することを目的として策定された。
戦略は、素形材産業の将来目標、その目標達成に向けた戦略シナリオ、素形材6分野における重点技術開発事項及び重要技術のロードマップから構成されている。
重点技術開発事項では、6分野全体で総計約340の要素技術について、技術競争力優位性、市場インパクト、省エネ・省資源等の8指標で重要度の評価を行い、約140の重要技術に絞り込んでいる。
この戦略は、新たな研究開発プロジェクトの企画・立案や、「中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する法律」にも活用することとされている。また、戦略で抽出された重要技術は、経済産業省全体の技術ロードマップとして毎年改定されている「技術戦略マップ」の改定の際にも活用される予定となっている。
参考： http://www.meti.go.jp/press/20081030001/20081030001-1.pdf
http://www.meti.go.jp/press/20081030001/20081030001-2.pdf
■NEDO産業技術政策関連
○ＮＥＤＯ海外レポート
１、 1032号－平成20年11月5日 再生可能エネルギー特集(4)
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1032/index.html
２、 1031号－平成20年10月22日 再生可能エネルギー特集(3)
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1031/index.html
１ 創立記念日に伴う休業のお知らせ
今年のマイクロマシンセンターの創立記念日は11月21日（金）となります。当日は休日とするため、事務所は留守になりますのでお知らせ致します。
２ ロボット3団体合同賀詞交歓会のご案内
（社）日本ロボット工業会、（財）製造科学技術センターおよび当センター合同の新年賀詞交歓会が以下のとおり開催されます。
連絡窓口担当者、運営委員会委員の方々には、近々、出席予定者の調査依頼をお願いいたます。また、賛助会員の代表者および理事、評議員の方々には、個別に封書にてご案内申し上げてます。
年初ご多忙のことと存じますが、万障お繰り合わせの上ご来臨賜りますようご案内申し上げます。
日 時 ： 平成２０年1月１５日（木）
１２：００～１３：３０
場 所 ： 虎ノ門パストラル
新館1階 鳳凰の間
Tel ： ０３－３４３２－７２６１
http://www.pastoral.or.jp/access/index.php
３ 第2回評議員会、第2回臨時理事会の開催
10月29日(水)「平成20年度第2回評議員会」、「平成20年度第2回臨時理事会」が（財）商工会館で開催されました。
議題、報告事項は、①平成20年度事業計画及び収支予算の一部変更について、②理事の一部変更について、③平成20年度委員会構成の一部変更について、④規程の一部改正及び制定について、⑤賛助会員の入会について、⑥平成20年度借入金の限度額について、⑦公益法人改革への対応についてでした。提案議題は審議の結果、全て承認されました。
近々、ホームページへアップいたしますので、ご覧下さい。
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