国・NEDO委託の「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発」の研究事業（Gデバイス@BEANS）は、技術研究組合BEANS研究所が受託し、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト（BEANSプロジェクト）」（事業期間：2008～2012年度）の下で研究開発が行われました。
この予算措置は2009年度の補正予算（総額約33億円）に基づくものであるため、実施期間は2009-2010年の２年間でした。一般財団法人マイクロマシンセンターは、技術研究組合BEANS研究所の組合員として参画し、本研究事業を支援いたしました。
Gデバイス@BEANSの研究開発項目は以下のとおり。 また、研究に必要な設備として産総研の大口径MEMS用クリーンルームの中に先端的な８インチMEMS製造ラインを導入しました。
本研究はBEANSプロジェクトの加速・実証として位置づけられ、特に省エネ・低炭素化のためのグリーンイノベーションに焦点を当てた研究開発が行われます。すなわち、グリーンなデバイス（Gデバイス）をグリーンなプロセス（低環境負荷型プロセス）とグリーン・クリーンルーム（センサーネット管理）の下で製造できるようなプラットフォーム作りを目指しました。
また、本事業による研究開発成果の多くの部分は、2011年7月からNMEMS技術研究機構がNEDOとの共同研究方式によって開発に着手することになったグリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト（2011～2014年）に継承され、本格的な研究が進むことになります。
研究体制としては、BEANS組合の中にGデバイス研究体を設け、つくばの産業技術総合研究所内および立命館大学内に主たる研究拠点を設置しました。また、これらの研究拠点は、オープンイノベーションを目指すつくばナノテク拠点TIA-NMEMSと連携して研究開発を進め、中長期的にはMEMSビジネスの創出を支援する、設計・試作、研究開発、人材育成などを主な機能とする新たな設計試作研究センターの創立を目指すこととしました。
実際には、2011年度に入り、このようなセンターとしてMEMS協議会の下にマイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）が設立されました。Gデバイス@BEANSで開発導入された先端的な８インチMEMS製造ラインはMNOICが供するR&Dプラットフォームの中核設備として活用されます。
