【定　義】　電磁力を利用したアクチュエータ。

【解　説】　電磁力を利用したマイクロアクチュエータの主要な要素は、磁石と巻線である。 サブミリ以下のサイズのマイクロ電磁デバイスのロータには、スパッタで成膜した薄膜磁石が有効である。 デバイスの出力増大のためには、高いエネルギー積と大きな膜厚が薄膜磁石に求められる。 一方、マイクロなラジアルギャップ型デバイスでは、円筒形状固定子にコイル巻線を形成することが難しいため、電磁力利用デバイスに関する研究は、平面的な構造、即ちアキシャルギャップ型に関するものが多い。 効率の点からはラジアルギャップ型が優っており、円筒形状固定子へのコイル巻線プロセスの開発が必要である。　

【参考資料】 (1)(8)

【関連用語】