【定　義】　微小可動構造体が凝着力によって基板又は他の構造体に固着する現象。

【解　説】　微小構造体になるほど表面力が体積力に対して優位になるスケール効果によって，スティクションが起こりやすくなる。MEMS製造工程においては微小構造体をウェットエッチングによってリリースした際に液体の表面張力によってしばしばスティクションが発生する。スティクションを起こす凝着力としては，ファンデルワールス力，静電力，介在する液体の表面張力が代表的である。（JIS/2016)