【定　義】　同一シリコン基板上にセンサなどのMEMS構造と信号処理用のCMOS回路とが形成された集積化MEMSデバイス。（JIS/2016)

【解　説】　MEMS要素とCMOS回路とを一体化したMEMSデバイスの一形態である。通常，CMOS工程の後にMEMS工程を行うため，MEMS工程では，CMOS回路に損傷を与えないプロセスが要求される。（JIS/2016)

【参考資料】