【定 義】 絶縁体と,その上に形成されたシリコンの薄膜によって構成された構造体。
【解 説】 サファイア(SOSの場合),ガラス(SOGの場合),酸化シリコン,窒化シリコン,又は高抵抗シリコンが絶縁体として用いられる。
【参考資料】
【関連用語】