【定　義】　微細加工技術で作られたマイクロバルブとフローセンサを、基板に一体化したガス流量制御デバイス。

【解　説】　マイクロバルブは例えばシリコン基板とガラス基板からなり、シリコン基板上にダイヤフラムで開閉するポート部分をシリコン微細加工技術で作製し、ガスの流入流出口を加工したガラス基板とを一体化させる。 ダイヤフラムは圧電アクチュエータや静電アクチュエータで作動する。 構造を工夫することにより、３方弁とした構造などいろいろなタイプのバルブ構造が研究開発されている。 フローセンサには、ヒータの熱が気体の流れによって奪われ、ヒータの温度が下がることを検出する熱型フローセンサがよく使用される。 高純度のガスが必要な半導体製造装置用に分子数レベルでのガス流量の制御を目指した研究開発が行われており、バルブとフローセンサを一体化した超小型のガスフロー制御デバイスが実現している。

【参考資料】 (1)

【関連用語】