【定　義】　化学センサと流体制御素子を集積化した超小型化学分析システム。

【解　説】　集積化化学分析システムとして、血液ガスモニタリングマイクロシステムや集積化クロマトグラフィシステムなどが製作されている。 血液ガスモニタリングマイクロシステムは、間欠的に採取された血液のpHの分析をするものであり、マイクロバルブやpH ion sensitive field-effect-transistor (pHISFET)などをシリコン基板上に集積化した例がある。 また、集積化クロマトグラフィシステムは、試料成分の吸着作用の差を利用した成分分離・分析システムである。 試料導入バルブやセンサ、カラム（管）などをシリコン基板上に集積化したものが製作され、市販されている。

【参考資料】 (4)

【関連用語】