【定　義】　 レーザ光の干渉を利用して物体形状等の測定や高分解能の測長を行う技術。

【解　説】　参照平面と被測定面の両方からの反射光を干渉させることにより、停止している平面、球面状の被測定物形状をλ／２あるいはそれ以下の分解能で測定できる（代表的なHe-Neレーザの波長λは０．６３３μｍである）。　干渉技術と電子技術の併用により形状等の測定の場合、λ／１００程度まで分解能を上げることができる。　また、測長の場合はλ／１０００以上も可能である。移動する物体に対しては、レーザ光のドップラー効果を利用したビート干渉法によりλ／４以下の分解能で相対移動距離が計測できる。　また、ホログラフィ干渉法によれば振動変位の計測も可能である。

【参考資料】

【関連用語】