ナノインプリント 【なのいんぷりんと:nanoimprint】 

【定 義】 ナノスケール構造体の転写を行う型成形加工。(JIS/2016)

【解 説】 ナノインプリントは成型方法によって大きく二つに分類される。熱可塑性材料への温度・圧力制御を用いた加工法を熱ナノインプリント,光硬化材料への光照射を用いた加工法を光ナノインプリントという。従来技術であるホットエンボスは熱ナノインプリントと類似の工程をもつ加工法である。バルク膜を形成する場合をホットエンボス,基板上薄膜を形成する場合をナノインプリントと呼び分ける場合もある。(JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】