【定　義】　マイクロマシニング技術によって作られたアクチュエータ。（JIS/2016)

【解　説】　マイクロマシンが機械的仕事を行うためには，その基本要素としてマイクロ化されたアクチュエータが不可欠である。主な例として，シリコンプロセスで作製した静電アクチュエータ，PZTのような機能性材料を利用した圧電アクチュエータ，ゴム製空気圧アクチュエータなどがあるが，その他にも様々なエネルギー変換原理を応用した多くのマイクロアクチュエータが研究開発されている。しかし，これらのアクチュエータは，小形化するほどエネルギーの変換効率が低下するため，マイクロマシン用の新規アクチュエータとして，生物の運動メカニズム，例えば，タンパク分子の変形，細菌のべん（鞭）毛運動，筋収縮などを解析し，これらを利用することも研究されている。
　例えば，微小静電アクチュエータは狭領域の静電場によって駆動し，微小磁気アクチュエータは狭領域の磁場によって駆動し，微小圧電アクチュエータは狭領域の応力場によって駆動する。（JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】