【定 義】 液状化した材料を型に流し込んで所望の形状をもった微細部品を得る加工。
【解 説】 金型を用いて圧縮、トランスファー、射出、ブローなどの手段により材料を所望の形にする微細加工。 高分子やセラミックなどの原材料を鋳型に流し込む方法で形を作ることができる。 精密モールディング技術を用いて、LIGAプロセスでは金属の鋳型にプラスチックをモールドしている。 典型的な例として次のようなものがある。狭いすき間にも樹脂材料が入るように、低粘度の材料を用いて気泡が生じないように脱気し、鋳型の内部は注入前に真空にして樹脂材料を高い圧力で注入する。 樹脂の硬化、ストレス除去、および収縮分の補償のために、熱処理は高圧、高温下にて行う。 この方法をリアクションインジェクションモールディングと呼び、この技術で製作したプラスチック構造体は、これを再び鋳型として用いて金属をめっきし、金属の構造体を作ることもできる。
【参考資料】 (1)
【関連用語】