【定　義】　同一基板上に光導波路や他の光部品を一体化すると共に、機構要素も内蔵した光デバイスに関する工学。

　 【解　説】　反射鏡などを機械的に動かす機構を一体化することにより、電気光学効果や音響効果などによる方法と比べて格段に大きく光を偏向させることが可能になる。 一例として、反射鏡の間隔を静電引力で変化させることによって、透過波長を電気的に変化させるファブリペロー干渉計がSi基板上に製作されている。 この場合、駆動用の電極と間隔検出用の電極が４個ずつあって、必要な間隔になるようにSiの反射鏡を平行に動かすことができ、波長1.5μｍ近辺の光に使用する。 他の例として、レーザプリンタ用ヘッドやトーションミラーなどの光スキャナへの適用がある。 また、光集積デバイス内に可動部を持ち、光学的に機械量をセンシングするマイクロメカニカル光ICセンサと呼ばれるものも研究されている。　

【参考資料】 (1)

【関連用語】