【定 義】 微小量の気体または液体を、昇圧もしくは減圧し、搬送する機械要素。
【解 説】 マイクロポンプは、材料として主にシリコン、ガラスを用い、微細加工技術でダイアフラムとアクチュエータを結合して作製する例が多い。 応用例としては、圧電素子によりダイアフラムを駆動し超小型逆止弁を用いたダイアフラム型ポンプ、およびマイクロヒータとともに熱膨張型アクチュエータを用いた一体型ポンプ等がある。 積層型圧電アクチュエータによりダイアフラムを変形させて液体の排出、吸入を行うポンプでは、ポンプの駆動周波数によって流量を制御できる。 また、脈流低減型ポンプでは、デュアル型ポンプと同期バッファポンプにより、送液量を高精度で制御できる。
【参考資料】 (1)(2)(3)(4)