【定　義】　化学的エネルギーを電気エネルギーに変換する超小型装置。

【解　説】　エネルギー供給が重要となるマイクロマシン分野では、マイクロバッテリー、マイクロ発電機、マイクロ波エネルギー供給、振動エネルギー伝搬、光エネルギー変換装置等の研究開発が行われている。 マイクロバッテリーは体積当たりのエネルギー密度の向上、小型化を目指し、薄膜プロセス、加工技術、特にパッケージング技術の開発、電解質材料の研究開発等が進められている。 マイクロマシンの体積が小さいことから、バッテリーは充電可能な二次電池が望ましく、金属／水素二次電池やリチウム系二次電池の研究開発が行われている。

【参考資料】 (11)

【関連用語】