【定　義】　周波数がだいたい１ＧＨｚ（波長３０ｃｍ）以上の電磁波。

【解　説】　マイクロ波によるエネルギー供給は、マイクロマシンに外部から非接触でエネルギーを伝送する方法の一つである。 金属配管をマイクロ波導波管として機能させることにより、効率の良い伝送が可能である。発生器で出力されたマイクロ波は配管内部を伝搬し、マイクロマシン端部に取り付けられたアンテナで受信され、電力変換モジュールで直流に変換され、マイクロマシンの電源となる。 配管内のマイクロ波伝搬機構の解明や小型、高効率な送受信アンテナの開発、高耐圧・高周波電力変換素子の開発が進められている。 またマイクロ波をマイクロマシンの情報通信媒体として利用することも考えられている。

【参考資料】 (48)

【関連用語】 電磁波