【定　義】　シリコン微細加工技術によって微小陰極を作製し、真空管と同様な動作（整流、増幅、発振）を実行できるデバイス。

【解　説】　ピンホールマスクを用いた真空蒸着法やシリコンの異方性エッチングによって微小な尖った針形状を作製し、その針を電界放出用微小冷陰極として使用する。 なお、電界放出とは、高電界が印加されて、針の先端から電子が飛び出す現象のことである。 マイクロ真空管は、従来の真空管の持つ「サイズが大きい、発熱量が大きい」といった欠点がない、しかも、電荷移動速度大、耐電圧性、耐熱性、耐放射線性等の半導体素子にない特長を有している。 このような陰極を多数配列したフラットパネルＣＲＴ、表面分析計、真空計等の研究開発が行われている。

【参考資料】 (1)(11)

【関連用語】