くし（櫛）歯状アクチュエータ【くしばじょうあくちゅえーた：comb drive actuator】

【定　義】　くし歯状の一連の平行突起部をもつ構造が同様の構造とすき間を保ちながらかみ合い，これらの間の静電力で駆動されるアクチュエータ。

【解　説】　二つの構造間に電荷が与えられることによって静電引力が作用し，くし歯構造同士が引きつけあい，電荷がなくなると微細加工されたばねの力によって元の位置に戻る。

【参考資料】

【関連用語】