【定　義】　レーザアシストエッチングによるレジスト加工等、高分子材料の加工。

【解　説】　高分子は耐薬品性に優れるが、耐熱性が低いためレーザによる熱加工はできない。 そこで、高分子材料を酸素雰囲気中において、エキシマレーザの光化学効果によって活性な酸素イオンやラジカルを発生させ、これと高分子との化学反応を利用して加工を行う。 この方法によれば、高分子材料はエッチングのマスク材としてだけでなく、エッチングの対象にもなる。

【参考資料】 (6)(25)

【関連用語】