【定　義】　膜厚が単原子層、単分子層のものからおよそ10μmまでの蒸着やスパッタリング等によって得られた金属膜。

【解　説】　アルミニウムや金、タングステン等の薄膜は、蒸着やスパッタリングによって形成される。 この膜をパターン加工することにより、アクチュエータやセンサ等の通電線、信号線として使用される。 通常のフォトリソグラフィーによるパターン加工の例や、レジストをあらかじめパターン加工しておき、その上に金属薄膜を蒸着し、レジストと同時にレジスト上の金属薄膜も除去する方法（リフトオフ）によって加工される例がある。 静電アクチュエータの電極に例が多く見られるが、最近の研究では、多層化して電磁アクチュエータの巻線コイルとして利用する例も見られる。

【参考資料】 (4)

【関連用語】