原子間力顕微鏡（AFM）【げんしかんりょくけんびきょう：atomic force microscope (AFM)】

【定　義】　片持ちはりを走査する間に片持ちはりに作り込んだ探針と試料との間の原子間力によって起こされた片持ちはりの変位を検出することによって，微視的な形状を測定する顕微鏡。

【解　説】　光てい（梃）子法が片持ちはりの変位を監視することに有効である。片持ちはりの変位は片持ちはりから反射した光を検出することによって測定される。測定において3タイプの片持ちはりの動きがある。
－ 片持ちはりを試料に接触させる方法。
－ 振動する片持ちはりを周期的に試料に接触させて片持ちはりの振幅変化を検出する方法“タッピングモード”。
－ 振動する片持ちはりと試料とを接触させずに，振動する片持ちはりの周波数変化を検出する方法。
AFMは，atomic force microscopeの略語。

【参考資料】

【関連用語】