加速度計【かそくどけい：accelerometer】

【定　義】　入力された加速度を，その大きさに比例した出力（通常，電気的）に変える変換器。

【解　説】　シリコン微細加工技術を基にした加速度センサは，一般に軟らかいばね及び質量で構成されている。加速度が加わる質量の慣性力によってばねの変位を検出したり，その変位を相殺する力を測定して，加速度を検出している。これらシリコンで作られたセンサのうち，加速度センサは次世代の商品として期待されており，半導体ひずみゲージ方式，静電容量検出方式，電磁サーボ方式，静電サーボ方式などの多くの事例がある。さらに，共振周波数の変化を検出する振動検出方式センサ及び圧電効果を利用した圧電効果形加速度センサもある。自動車，ロボット，宇宙産業などの幅広い分野への応用を目指して，開発が進められている（JIS B 0153 参照）。

【参考資料】

【関連用語】