【定　義】　化学的溶解作用を材料表面の所要の部分に集中・制限することによって所望の形状、寸法、表面状態をつくる加工技術。

【解　説】　化学的溶解作用を集中・制限するために、非加工部分をマスカントまたはレジストという耐食性物質で予め所望の形状に被覆する。 これをマスキングといい、これの方法によって２つに大別される。 １つの分野は、フォトレジストとよばれる感光性耐食物質を用いる方法であり、他の分野は非感光性の耐食性物質を用いるものである。 後者は機械的ミーリングに造形過程が似ていることからケミカルミーリングと呼ばれる。

【参考資料】 (7)

【関連用語】