異方性エッチング 【いほうせいえっちんぐ：anisotropic etching】

【定　義】　結晶方位やエネルギービームの方向によって、エッチング速度が異なるエッチングプロセス。

【解　説】　シリコンの代表的な異方性エッチング溶液は、水酸化カリウム(KOH)溶液であり、様々なバルク微細加工用に広く用いられている。

【参考資料】

【関連用語】