【定　義】　Electron Probe (X-ray) Microanalysisの略語。　電子線、Ｘ線を利用して固体表面の形状の観察と、組成元素の定量分析を行うための方法。

【解　説】　電子やＸ線を試料に照射した時に試料から放射される特性Ｘ線の分光測定によって元素の分析を行う。　電子やＸ線の試料表面の走査によって試料表面の２次元的な元素分析が可能である。　定量補正法が確立されているため、定量性が良い。　ただし、軽元素に対する感度は悪い。

【参考資料】 (10)

【関連用語】