【定　義】　数種類の単波長光を順次試料に照射し，それらの反射偏光強度から，膜厚及び屈折率が同時に得られる光学的測定方法。（JIS/2016)

【解　説】　分光器によって得られた単色光を，偏光子に通して直線偏光化し，薄膜試料に照射する。そして試料から反射した偏光成分によって，試料の膜厚及び複素屈折率を算出する。（JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】