【定　義】　内部にセンサ，アクチュエータ，機構部品，電子回路のすべて，又は一部を含む微小なデバイス。

【解　説】　関連する技術は，非常に多岐にわたり要素技術分野で分類した場合，“設計技術”，“材料技術”，“加工技術”，“機能要素技術”，“システム制御技術”，“エネルギー供給技術”，“接合組立技術”，“電子回路技術”及び“評価技術”とそれらの基盤となるマイクロ環境での熱力学，トライボロジーなどの“マイクロ理工学”などから構成されている。デバイスがシステムを構成する場合，micro-electromechanical systemsの頭字語としてMEMSと呼ばれる。（JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】