【定　義】　微細なセンサやアクチュエータ、歯車列、リンク構造、タービン等の微細な物体を構成する構造の総称。

【解　説】　ＩＣプロセスや、ＬＩＧＡ(Lithographie Galvanoformung Abformung)プロセスによって、センサ、アクチュエータ、微細な歯車列やリンク機構、微細なタービン等が試作されている。 マイクロマシンの原点とも呼べるのもので、今日のマイクロマシン研究の隆盛のきっかけともなった技術である。 現在はさらに高アスペクト比、３次元のマイクロ構造体を作製する技術の研究開発が盛んに進められている。

【参考資料】 (6)

【関連用語】 ＬＩＧＡプロセス