【定　義】　マイクロマシンが使われるような微小な世界における光学。

【解　説】　マイクロ領域の計測制御において微小な光学系を適用する場合は、マイクロ光学素子が作製可能なことと、これらの光学的調整が可能なことが重要である。 マイクロ光学素子としては、ＬＩＧＡプロセス等により、マイクロ導波管、マイクロ回折格子、マイクロレンズ、マイクロフィルタ、マイクロ変・復調器、マイクロ受・発光器等が試作されている。 また、これらを調整するためのマイクロアクチュエータ機構等の要素技術も種々研究されている。 応用としては、光ディスク装置のヘッド等が実用化されており、その他にも光ファイバ位置決め装置、光スイッチ、光スキャナ、マイクロ干渉器、可変焦点ミラー等の研究例がある。 将来的には、マイクロ光学素子とそれらの制御回路を同一基板上に作製するだけでなく、アクチュエータ等も一体化した光集積回路を開発することが考えられている。

【参考資料】 (4)(6)

【関連用語】 光集積回路