【定　義】　動力を発生したり，エネルギーを変換する分野へ応用したMEMS。（JIS/2016)

【解　説】パワーMEMSには，推力発生装置，マイクロ熱機関，燃料電池などの他に，エネルギー・ハーベスティング技術，エネルギー・スカベンジング技術などの環境エネルギーを利用した電力供給装置が含まれる。（JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】