【定　義】　基板上に薄膜を形成する技術。

【解　説】　薄膜とは、基板上に真空蒸着、イオンスパッタなどによって得られる膜で、膜厚は単原子層、単分子層のものからおよそ５μｍまでのものを言うが、通常は厚さ１μｍ以下をさす場合が多い。 薄膜の特徴は、物体の形状を実質的に変えることなく、色、反射率、摩擦係数などの性質を変えられ、たとえば干渉、表面拡散などが顕著に変化する。 また、薄膜の形成は非平衡、不均質核形成過程をたどることが多く、形成膜の構造組織は普通の平衡条件下で作られたバルク物質と異なる。 具体的な事例としてサーマルプリンタヘッドの製作があげられ、従来、厚膜技術で製作されていたものを、薄膜技術とエッチング技術を組み合わせることで高集積化できた。

【参考資料】 (17)(23)(24)

【関連用語】 厚膜技術