【定　義】　一つ又はそれ以上の離散的な構成部品と集積回路を組み合わせ、基板やチップ上に高密度に実装してデバイスを作る技術。

【解　説】　マイクロアクチュエータで超小型機械部品を駆動するシステムを最大限に活用するには、センサと論理回路をアクチュエータとともに集積化することが必要である。 集積化することで、種々の情報をセンサで検出し、論理回路で情報処理して、自律的制御を可能にできる。 もしこれを行わなければ、すべてのセンサとアクチュエータの情報を一度マクロな世界に送り、そこで処理された結果をもう一度マイクロな世界に戻さねばならない。 このような方法は、多数のアクチュエータをマイクロな世界で同時に用いようとする場合に、情報交換量が過度に増大するため現実的でなくなる。

【参考資料】 (1)

【関連用語】