【定　義】　化学的腐食作用を利用した除去加工技術。

【解　説】　エッチングには等方性エッチングと異方性エッチングがあり、気相あるいは液相中の腐食性雰囲気の中で加工対象材料の除去を行う。 電気エネルギーのアシストを加える場合もある（電気化学エッチング）。 マイクロマシン技術では異方性エッチングが多用される。 具体的には単結晶シリコンを水酸化カリウム（ＫＯＨ）あるいはエチレンジアミンピロカテコール（ＥＤＰ）でエッチングすると、結晶面（１１１）のエッチング速度が他の結晶面に比べて遅くなるため、（１１１）面で構成される立体形状をつくることができる。

【参考資料】 (6)

【関連用語】 バルク微細加工