【定 義】 圧電材料を用いた機能素子。
【解 説】 従来、圧電素子はブザーやスピーカの振動子、超音波変換器、位置決め素子、加速度センサ等として使用されている。 マイクロマシンの分野では、これらに加えてアクチュエータとしての応用例が多い。
【参考資料】 (3)(4)(5)(6)
【関連用語】 アクチュエータ