ナノ材料の優れた機能を取り入れる新たな アプローチにより、従来の高機能化開発の限 界を打開し、世界最高レベルの小型・高機能 （高耐久・高耐電力）MEMSスイッチの実現を 目指します。併せて、その製造技術を確立す ることにより、高周波通信分野におけるMEMS デバイスの本格的実用化が加速されるものと 期待しています。